スーパーインバー 半導体製造装置・プリズムマウント/ホルダ 材料 スーパーインバー 加工方法 5軸加工機 難易度 ★★★★☆ 精度・工夫など 45°角度公差30″を実現 分析装置の光軸部品前の事例 三次元測定器部品次の事例