半導体製造装置・液晶露光装置部品

材料	C3604
加工方法	MC
難易度	★★★★★
精度・工夫など	平面度・平行度ともに0.005以下。（上下・エッジ）エッジ幅±0.01、エッジ欠けの深さ0.002以下。