スーパーインバー 半導体製造装置・液晶露光装置内プリズムマウント/ホルダ 材料 スーパーインバー 加工方法 5軸加工機 難易度 ★★★★★ 精度・工夫など 1面を除く前面の加工度公差及び平行平面公差がピラミッド角で指定されている。直角度公差30″ 半導体製造装置・液晶露光装置部品前の事例 内燃機関部品次の事例
